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工业检查显微镜

 

 

 

    
二坐标非接触影像测量仪    接触影像测量方式   非接触影像测量方式 三坐标非接触影像测量仪 

  本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、自动调焦技术、亚象素寻边技术、测量分析软件极大提高测量精度和测量效率。

  仪器光学系统品质优良,物镜成像清晰,倍率广泛。
  提供物体轮廓(透射)和表面(反射)同轴照明,保证物体影像清晰。
导轨、丝杠、光栅尺、电机等关键部件全部选用国外著名品牌,保证系统的高质量和高可靠性。
自动识辨物体焦面位置和自动寻找物体亚象素边界。
优质运动控制器和图像传感器,保证高品质图像质量和工作台的低噪音平稳运动。
X、Y、Z轴全部电机闭环控制运动,Z轴装有粗微调焦手轮调节以适应测量工件高度要求。
  多种形位尺寸(几何元素)测量,点、线、面、圆、椭圆、球面及其几何元素间的关系,圆度、球度、平面度等形状公差,平行度、垂直度等位置公差。
平面定义与自动三维采点测量,按国标GB11337-98的各种方法自动进行平面度误差检测。
提供测量编程指令,具有自学习编程功能,自动批量快速测量,大大提高检测效率。
人性化方便的运动控制和多种方式的测量功能,编程和自学习,成倍提高测量效率。
系统提供多达20个机械坐标和工件坐标。
无需转台,实时非接触测量物体的高度、距离、角度等参数。
无需倾斜台,对物体基准面进行数学找正,避免物理找正的烦琐。
提供强大的数理统计分析和数据库功能:统计参数计算,正态、历史、直方图、X2、T、F分布,X2、T、F检验,单因素方差分析和相关性检验等。
输出结果形式多样,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等应用软件使用。
几何形状测量与构造实时图形的直观显示,利于测量检查。
提供在线帮助功能,操作简便,易学易用。

工作台行程

标配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm

选配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm

光学尺分辨率

标配:0.001mm闭式; 选配:0.0005mm闭式,0.0001mm开式

重复定位精度

X,Y,Z: ≤0.0015mm

重复调焦精度(倍率大于150X)

0.0015mm

系统不确定度

分辨率为0.001mm时:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm

分辨率为0.0005mm时:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm

分辨率为0.0001mm时:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm

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